Оптична оптична система динамічного сканування: 1 лінза з малим фокусом, 1-2 лінзи з фокусуванням, дзеркало Galvo. Вся оптична лінза формує функцію розширення променя, фокусування та відхилення променя та сканування.
Розширювальна частина є негативною лінзою, тобто малофокусною лінзою, яка реалізує розширення променя та рухомий зум, фокусуюча лінза складається з групи позитивних лінз. Гальво дзеркало є дзеркалом у системі гальванометра.
(1) Оптимізація конструкції лінзи: оптимальне співвідношення діаметра до товщини
(2) Високий поріг пошкодження лінз:>30 Дж/см2 10 нс
(3) Покриття з наднизьким поглинанням, швидкість поглинання: <20 ppm
(4) Співвідношення товщини гальванометра до діаметра: 1:35
(5) Точність поверхні лінзи: <= λ/5
Постоб'єктивна лінза
| Макс. вхідна зіниця (мм) | Оптика 1 Діаметр (мм) | Оптика 2 Діаметр (мм) | Оптика 3 Діаметр (мм) | Поле сканування (мм) | Очистити діафрагму сканера (мм) | Довжина хвилі |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 мкм |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 нм |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 нм |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 нм |
Рефлектор Дзеркало
| Опис частини | Діаметр (мм) | Товщина (мм) | матеріал | Покриття |
| Кремнієвий відбивач | 25.4 | 3 | Кремній | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Кремнієвий відбивач | 30 | 4 | Кремній | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Волоконний відбивач | 25.4 | 6.35 | Плавлений кремнезем | HR@1030-1090 нм, AOI: 45° |
| Волоконний відбивач | 30 | 5 | Плавлений кремнезем | HR@1030-1090 нм, AOI: 45° |
| Волоконний відбивач | 50 | 10 | Плавлений кремнезем | HR@1030-1090 нм, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 25.4 | 6 | Плавлений кремнезем | HR@515-540 нм/532 нм, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 25.4 | 6.35 | Плавлений кремнезем | HR@515-540 нм/532 нм, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 30 | 5 | Плавлений кремнезем | HR@515-540 нм/532 нм, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 50 | 10 | Плавлений кремнезем | HR@515-540 нм/532 нм, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 25.4 | 6 | Плавлений кремнезем | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 25.4 | 6.35 | Плавлений кремнезем | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 25.4 | 10 | Плавлений кремнезем | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 30 | 5 | Плавлений кремнезем | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Дзеркало Galvo
| Опис частини | Макс. вхідна зіниця (мм) | матеріал | Покриття | Довжина хвилі |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Кремній | MMR@10.6um | 10,6 мкм |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Плавлений кремнезем | HR@1030-1090 нм | 1030-1090 нм |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Плавлений кремнезем | HR@532 нм | 532 нм |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Плавлений кремнезем | HR@355 нм | 355 нм |
Захисна лінза
| Діаметр (мм) | Товщина (мм) | матеріал | Покриття |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
